노광기

  • 2005년 세계 최초 양산 라인에 대응
  • Direct Imaging 으로 마스크리스 노광 실현
  • 압도적 생산성 및 고정밀 고속 노광
  • 휨기판 클램프 기능 등 다양한 자동화 기능 탑재
  • 다종 다양한 보정 기능으로 고정밀 노광 구현
  • 다양한 고객사 현장에서 안정된 가공 실적 보유
제품특징
Wide Range 오토포커스
  • 기판 굴곡 등의 변화, 빌드업층의 요철에 대응
  • DOF 추종성 및 핀트의 정확성

Wide Range 오토포커스

얼라인먼트 Retry
  • 마크 위치, 외형 치수 변형 시 기판 위치 자동 보정
  • 라인 정지 없이 보정이 가능
  • 리젝트 기판 감소로 생산성 향상 극대화

얼라인먼트 Retry

다양한 보정 기능 및 자동화
  • 기판 변형 및 위치에 대해 다양한 보정 기능 탑재
  • 다양한 노광 데이터 보정 지원
  • 기판 클램프 기능 적용 가능

기판 클램프 기능

One Time Scan / 다이렉트 노광
  • 독자적인 레이저 유닛의 신화상 처리엔진 탑재
  • Laser Head를 기판폭으로 라인 배열하여 원타임 스캔 실현
  • 초정밀 고속 노광 실현

ADTEC 원타임 스캔 DI 노광 공정

제품라인업
모델개요 IP-4 시리즈 IP-6 시리즈 IP-8 시리즈 IP-10시리즈
IP-4 UH IP-6 9000H IP-8 8000H IP-10 7000H
High-End PKG High-End PKG PKG Standard mSAP
회로형성용 회로형성용 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=5/5μm L/S=6/6μm L/S=8/8μm L/S=10/10μm
얼라인먼트 정도 ±4μm ±5μm ±7μm ±7μm
출력 LD 광원 50W 40W 40W 40W
파장 405nm 405nm 405nm 405nm
기판 사이즈 508×406 ~ 515×640mm 334×334 ~ 546×622mm 334×334 ~ 546×622mm 334×334 ~ 546×622mm
모델개요 IP-12 시리즈 IP-15 시리즈
IP-12 6000H IP-15 LUHS IP-15 UHS IP-15 UHT
Stabi Fine Large Panel HDI HDI
회로형성용 회로형성용 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=12/12μm L/S=15/15μm L/S=15/15μm L/S=15/15μm
얼라인먼트 정도 ±5μm ±10μm ±7.5μm ±7.5μm
출력 LD 광원 40W 54W 50W 50W
파장 405nm 405nm 405nm 405nm
기판 사이즈 334×334 ~ 551×640mm 483 ×334 ~ 554×640mm 334×334 ~ 551×640mm 334×334 ~ 551×640mm
모델개요 Roll to Roll 시리즈 IP-35 시리즈 IS 시리즈
IP-12 HR/UHR IP-6 HR IP-35 1000H IP-35 L1000H IS-4000H
FPC R to R FPC R to R MLB Large Panel Solder Resist
Roll to Roll Roll to Roll 회로형성용 회로형성용 솔더레지스트용
해상성능 L/S=12/12μm L/S=6/6μm L/S=35/35μm L/S=35/35μm SRO=φ50μm
얼라인먼트 정도 ±5μm ±5μm ±12μm ±12μm ±7.5μm
출력 LD 광원 40W/50W 40W 40W 45W Max 80W
파장 405nm 405nm 405nm 405nm 375nm + 405nm
기판 사이즈 W200~550×L250~650mm W200~550×L250~650mm 334×334 ~ 551×640mm 483×831 ~ 635×838mm 334×334 ~ 551×640mm
  • 전자동 컨택 노광기 점유율 국내 90% 이상
  • 필요 사양에 따라 선택폭이 다양한 제품 라인업
  • 독자적인 U컨택 기술 적용으로 밀착성 우수
  • 고해상도, 고생산성, 고정도 얼라인먼트 실현
  • 박판, 대판에 대한 안정적인 노광 가능
  • 내외층 회로용으로 꾸준한 사랑을 받는 시리즈
제품특징
고정도 얼라인먼트
  • 노광 위치 정도 신뢰성 상승 : 노광스테이지상 정합 실시, 노광 직전 재확인 기능
  • 형상서치 방식에 따른 화상처리로 마크 인식 능력 향상
  • 안분점 방식 및 MMD 방식(마크간 거리 최소법) 적용
U 컨택 밀착 방식
  • ADTEC의 독자적인 U 컨택 밀착 방식 적용
  • 빠르고 균일하며 안정된 밀착 실현
분할 노광
(분할 셔터 기능)
  • 적용 모델 : ADEX5300P / ADEX5250P / ADEX4000P
  • 노광 영역 이외 영역을 셔터로 차광하여 기판과 마스크의 신축 영향을 최소화
  • 2분할, 3분할, 4분할, 6분할 노광 실시
  • 오버레이 정밀도 향상
스테이지 및 마스크 클리닝 대책
  • 적용 모델 : ADEX5300P / ADEX5250P / ADEX4000P
  • 노광기 내부에 클린 롤러 및 집진 노즐 탑재
  • 유입 이물의 영향 최소화 및 작업자 클리닝 시간 감소
자동 세팅 기능
  • 마스크 마크, 기판 마크, 카메라 위치,기판 반입 위치 자동 등록
  • 세팅 시간 대폭 단축으로 생산성 향상
고속 기판 반송 기구
  • 진공 흡착에 의한 핸드 반송
  • 고정도 리니어 모터 사용으로 고속 핸드 구동
제품라인업
모델개요 솔더레지스트용
ADEX6000S ADEX5300S ADEX5250S ADEX4000S ADEX3300S/LED
PKG/HDI HDI PKG/HDI HDI MLB
해상성능 SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ50μm SRO=φ75μm
얼라인먼트 정도 ±3μm ±3μm ±3μm ±5μm ±5μm
광원종류 2등식10kW
초고압수은램프
2등식10kW
초고압수은램프
2등식8kW
초고압수은램프
2등식8kW
초고압수은램프
* S: 2등식10kW
초고압수은램프
* LED : UV-LED
기판 사이즈(mm) 535×635 ~ 250×300 610x711 ~ 340x410 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300
모델개요 회로형성용
ADEX5250P ADEX5300P ADEX4000P ADEX3300P ADEX3300P-LED
PKG/HDI HDI HDI MLB MLB
해상성능 L/S=12/12μm(G)
L/S=20/20μm(F)
L/S=30/30μm L/S=15/15μm(G)
L/S=25/25μm(F)
L/S=30/30μm L/S=30/30μm
얼라인먼트 정도 ±3μm ±3μm ±3μm ±5μm ±5μm
광원종류 2등식5kW
초고압수은램프
2등식5kW
초고압수은램프
2등식5kW
초고압수은램프
1등식5kW
초고압수은램프
UV-LED
기판 사이즈(mm) 535×635 ~ 250×300 610x711 ~ 340x410 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300 535×635 ~ 250×300
모델개요 내층양면동시노광용 Roll to Roll
ADEX2300P ADEX1300P ADEX2200P ADEX1200P AFLX2600P5
MLB MLB MLB MLB FPC
평행광 산란광 평행광 산란광 -
해상성능 L/S=50/50μm L/S=75/75μm L/S=50/50μm L/S=75/75μm L/S=12/12μm(G)
L/S=20/20μm(F)
얼라인먼트 정도 ±5μm ±5μm ±10μm ±10μm ±10μm
광원종류 2등식5kW
초고압수은램프
2등식10kW
초고압수은램프
2등식5kW
초고압수은프
2등식5kW
초고압수은램프
2등식5kW
초고압수은램프
기판 사이즈(mm) 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 559×635 ~ 254×305 롤자재폭 250/500mm

* (G) : Glass Photo Mask
* (F) : Film Photo Mask

  • 패키지용 파인 패턴에 최적화된 차세대 모델 시리즈
  • FOWLP, FOPLP용 Direct Exposure 구현
  • 최소 L/S 2/2um 대응 (웨이퍼 / 판넬)
  • 고정밀 스테이지 채용
  • 마이크로 모션 장치 내장의 고정도 광학 시스템
  • 분할 얼라인먼트 보정
제품특징
고정밀 스테이지
  • Active dumper & Natural bed 채용
  • 듀얼 X-axis
  • 레이저 간섭계 바 미러 탑재
  • 서브 테이블 (Vacumm 테이블) 적용
고정도 광학 시스템
  • 마이크로 모션 장치 내장으로 NA, 왜곡, 필드 곡률 개선
  • 8W의 광원 출력
  • 프로젝션 렌즈 탑재
분할 얼라인먼트 보정
  • 로컬 영역에 대한 부분 얼라인먼트
  • 초기 256 분할된 로컬 영역 정렬 (DE-8 기준)
  • 최종: Die-by-Die 정렬
제품라인업
모델개요 DE 시리즈
DE-2 coming soon DE-8 P500 DE-8 W300/P600
FO-WLP PKG Wafer
회로형성용 회로형성용 회로형성용
해상성능 L/S=2/2μm L/S=8/8μm L/S=8/8μm
얼라인먼트 정도 3σ≦1μm 3σ ≦ 4μm │ave│+3σ ≦ 7μm
파장 405nm 405nm 405nm
기판 사이즈 300×300mm / 600×600mm
Min:마스크 플레이트로 대응
510×610mm
Min:마스크 플레이트로 대응
Φ200, φ300mm
600×600mm